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质量流量控制器MFC 2022

点击次数:75次    更新时间:2017-03-16 11:03:58

  紧凑的质量流量控制器配有RS-485通讯接口,基于Axetris专利的铂金MEMS技术(MEMS:微电子机械系统)它提供了以下的优势。

  ·超紧凑的外形尺寸

  ·快速的稳定时间<150 ms

  ·极佳的重复性和精度

  ·坚固的设计

  ·高量程比<1000:1

  ·极佳的长期稳定性

  它被推荐用于独立的应用和集成在工业,分析和医疗系统上的应用。

  紧凑的质量流量控制器配有RS-485通讯接口,基于Axetris专利的铂金MEMS技术(MEMS:微电子机械系统)它提供了以下的优势。

  ·超紧凑的外形尺寸

  ·快速的稳定时间<150 ms

  ·极佳的重复性和精度

  ·坚固的设计

  ·高量程比<1000:1

  ·极佳的长期稳定性

  它被推荐用于独立的应用和集成在工业,分析和医疗系统上的应用。

产品编号 : MFC 2022
参数单位
典型值
流量范围
sccm
20,50,100,250,1000,3000
目标气体N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2
流量精度0-10%% F.S
0.2(250sccm,N2,4bara)
流量精度10-100%% O.R
1(250sccm,N2,4bara)
稳定时间

ms

150

供电电压V
24
模拟量输入V0…5
模拟量输出V0…5
数字量输入输出
RS-232 TTL

质量流量控制器MFC 2022

质量流量控制器MFC 2022

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