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质量流量集管--标准平台

点击次数:75次    更新时间:2017-03-16 11:09:12

  可供使用的质量流量集管标准平台,在单个基板上安装有多达4个质量流量控制器或者流量计。集管具有混合器或者分离器配置,从而可以根据客户要求,校准每一个通道。该产品是混合或者分离气体流的紧凑即用型解决方案,具有高精确度和再现性。

  可供使用的质量流量集管标准平台,在单个基板上安装有多达4个质量流量控制器或者流量计。集管具有混合器或者分离器配置,从而可以根据客户要求,校准每一个通道。该产品是混合或者分离气体流的紧凑即用型解决方案,具有高精确度和再现性。

产品编号 : 质量流量集管标准平台
参数单位
典型值
流量范围
sccm
up to 15,000 per channel
目标气体N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2
Gas Flow ChannelsUp to 4
Channel TypeController or Meter
ConfigurationMixer or Splitter
流量精度

Axetris standard

稳定时间ms
<  150
供电电压
V24
数字量输入输出
RS-485 全双工
Electronic InterfaceCommon Electronic Interface Board with D-Sub 9 Connector (Optional)
Mechanical InterfaceThread 1/8” ISO, Optional Fittings

质量流量集管--标准平台

质量流量集管--标准平台

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