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质量流量计MFM Plus – 新产品

点击次数:次    更新时间:2017-03-16 11:04:39

基于MEMS工艺的热式质量流量技术;

重复性、复现性、稳定性强;

气体控制精度高,可快速响应;

大于1000:1的动态量程比;

在很大的测量范围内,也能保持良好的线性度;

结构紧凑,帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量;

模块化设计,为OEM客户量身定制。

  这种质量流量计的量程可扩展到15,000 sccm。具有无与伦比的动态量程和超紧凑尺寸的特点。

  技术优势

  ·无与伦比的动态量程

  ·出色的可重复性

  ·超紧凑的尺寸

  ·专为OEM客户设计


参数单位
典型值
流量范围
sccm
0-15,000
外形尺寸
mm
50×52×22(质量流量控制器OEM模块)
流量精度±0.2 % F.S./±1 % O.R. 取较大值
Repeatability±0.015 % F.S./±0.15 % O.R. 取较大值
Resolution

%

F.S.

0.1

Remarks如您需要更为详细的资料,敬请查阅产品相关的技术规格书





Axetris质量流量技术被用于众多行业,广泛应用于气相色谱、泄露检测、热分析、质谱、镀膜技术、等离子技术以及其他众多的领域。



■ 分析仪器


气相色谱分析

质谱分析原子光谱分析

元素分析

热值分析生物反应器和发酵设备



■ 工业领域



泄漏测试

薄膜镀层控制CO2激光切割



■ 医疗领域


氧气混合设备通风装置及呼吸设备控制





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