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质量流量计MFM 2130

点击次数:次    更新时间:2017-03-16 11:05:53

基于MEMS工艺的热式质量流量技术;

重复性、复现性、稳定性强;

气体控制精度高,可快速响应;

大于1000:1的动态量程比;

在很大的测量范围内,也能保持良好的线性度;

结构紧凑,帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量;

模块化设计,为OEM客户量身定制。

  紧凑的质量流量计配有RS-485全双工通讯接口,基于Axetris专利的铂金MEMS技术(MEMS:微电子机械系统)它提供了以下的优势

  ·紧凑的外形尺寸

  ·快速的稳定时间

  ·极佳的重复性和精度

  ·坚固的设计

  ·高量程比

  ·极佳的长期稳定性

  它被推荐用于独立的应用和集成在工业,分析和医疗系统上的应用


参数单位
典型值
流量范围
sccm
20,50,100,250,1000,3000
目标气体N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2
流量精度0-10%% F.S
0.2(250sccm,N2,4bara)
流量精度10-100%% O.R
1(250sccm,N2,4bara)
传感器响应时间

ms

4

供电电压V
24
模拟量输出
V
4…20
数字量输入输出
RS-232 EIA





Axetris质量流量技术被用于众多行业,广泛应用于气相色谱、泄露检测、热分析、质谱、镀膜技术、等离子技术以及其他众多的领域。



■ 分析仪器


气相色谱分析

质谱分析原子光谱分析

元素分析

热值分析生物反应器和发酵设备



■ 工业领域



泄漏测试

薄膜镀层控制CO2激光切割



■ 医疗领域


氧气混合设备通风装置及呼吸设备控制





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