薄膜沉积工艺，如反应性的PVD（物理气相沉积），需要一个可重复的反应气体的流量来确保膜的性能。凭借可重复性<<±0.15% FS和非常小的长期漂移。Axetris MFC 2100系列产品能为你设备的稳定和你客户的便捷使用提供支持。
MFC 2100 系列产品尺寸小的特点可以让你在过程腔体的内部或外部进行气体的混合。它也可以让你构建非常紧凑的分配阀组，以确保腔室中的气体分布均匀，从而实现统一的涂层属性。
客户可以借助Axetris的产品，诸如质量流量控制器模块（MFC2200系列）或质量流量计模块（MFM2200系列）来建立自己的质量流量控制器去优化系统设计或保护自己的知识产权。
