点击次数：267次 更新时间：2017-03-16 11:09:12
基于MEMS工艺的热式质量流量技术；
重复性、复现性、稳定性强；
气体控制精度高，可快速响应；
大于1000:1的动态量程比；
在很大的测量范围内，也能保持良好的线性度；
结构紧凑，帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量；
模块化设计，为OEM客户量身定制。
Axetris可供使用的质量流量集管标准平台，在单个基板上安装有多达4个质量流量控制器或者流量计。集管具有混合器或者分离器配置，从而可以根据客户要求，校准每一个通道。该产品是混合或者分离气体流的紧凑即用型解决方案，具有高精确度和再现性。
产品特性：
· 基于MEMS工艺的热式质量流量技术；
· 重复性、复现性、稳定性强；
· 气体控制精度高，可快速响应；
· 大于1000:1的动态量程比；
· 在很大的测量范围内，也能保持良好的线性度；
· 结构紧凑，帮您实现新的功能的同时减小系统尺寸和重量；
· 模块化设计，为OEM客户量身定制。
Axetris拥有完整的，经验丰富的流体动力学工程师团队，先进的仿真模拟装备，以及先进的测试和检测实验室，为客户提供全方位解决方案、技术支持和系统整合。为OEM客户需求量身定制特定条件应用的质量流量产品：真实气体校准，一系列可配置选项，可选数字滤波参数，可选电气和机械接口。
标®准产品系列：需完整产品目录，请联系Axetris !
每个Axetris MFM/MFC2000产品都提供全量程的标定和温度补偿，标定遵从NIST溯源。
广泛的气体种类和量程范围：
MFM/MFC2000产品可以适用非常广泛的多种非腐蚀气体，气体量程可以从小于20sccm到20000sccm(标准立方厘米每分钟)。通过旁路设计，还可获得更大的量程范围。
标准型产品:
MFM 21x0: 标准型质量流量计，是MFM2020加装电气保护外壳的扩展产品。
标准型质量流量计，是MFM2020加装电气保护外壳的扩展产品。
MFM 2120: RS232/ 0…5 Volt, MFM 2130: RS232/ 4…20 mA,MFM 2140: RS485.
MFC 21x2: 标准型质量流量控制器，集成了快速反应的调节阀。相较于传统的质量流量控制器，具有更小的体积，更高的精度，更短的整定时间，以及多量程，多种气体的控制能力。
如下为不同型号所支持的数字/模拟接口选项：
MFC 2122: RS232/ 0…5 Volt, MFC 2132: RS 232/ 4…20 mA,
MFC 2142: RS485, MFC 2162: PROFINET®
用于系统集成的OEM模块：
MFM 2020: 带有数字交互界面和0-5V模拟输出的紧凑型质量流量计。它的小巧的尺寸让其成为受限于空间限制的产品设计的理想选择。此外它也是用来建立定制化和多种气体通道测量的理想模块。
MFM 2021: 此先进的气体质量流量计附带有高精密PID控制，配备模拟信号输出，使其对气体流量进行直接、高速和精准得到测量成为可能。
MFC 2022: 带有快速反应调节阀和具有驱动电路的紧凑型质量流量控制器。它是高度紧凑型气体控制系统的理想选择。
| 参数 | 单位 | 典型值 |
| 流量范围 | sccm | up to 15,000 per channel |
| 目标气体 | N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2 | |
| Gas Flow Channels | Up to 4 | |
| Channel Type | Controller or Meter | |
| Configuration | Mixer or Splitter | |
| 流量精度 | Axetris standard | |
| 稳定时间 | ms | < 150 |
| 供电电压 | V | 24 |
| 数字量输入输出 | RS-485 全双工 | |
| Electronic Interface | Common Electronic Interface Board with D-Sub 9 Connector (Optional) | |
| Mechanical Interface | Thread 1/8” ISO, Optional Fittings | |
Axetris质量流量技术被用于众多行业，广泛应用于气相色谱、泄露检测、热分析、质谱、镀膜技术、等离子技术以及其他众多的领域。
■ 分析仪器
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| 质谱分析 | 原子光谱分析 | |
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| 热值分析 | 生物反应器和发酵设备 |
■ 工业领域
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| 薄膜镀层控制 | CO2激光切割 |
■ 医疗领域
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| 氧气混合设备 | 通风装置及呼吸设备控制 |
